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拋光墊的分類與作用及影響因素

　　拋光墊又稱拋光皮，拋光布，拋光片，化學機械拋光中決定表面質量的重要輔料。

　　一、分類

　　按是否含有磨料可以分為有磨料拋光墊和無磨料拋光墊; 按材質的不同可以分為聚氨酯拋光墊、無紡布拋光墊和復合型拋光墊; 按表面結構的不同大致可分為平面型、網格型和螺旋線型。

拋光墊的分類與作用及影響因素

　　二、作用

　　1.把拋光液有效均勻地輸送到拋光墊的不同區域；

　　2.將拋光后便化學反應充分進行;的反應物、碎屑等順利排出，達到去除效果；

　　3.維持拋光墊表面的拋光液薄膜, 以便化學反應充分進行；

　　4.保持拋光過程的平穩、表面不變形, 以便獲得較好的晶片表面形貌；

　　三、影響因素

　　1.硬度-拋光墊的硬度決定保持面形精度的能力；

　　2.壓縮比-壓縮比反應拋光墊的抗變形能力；

　　3.涵養量-拋光墊的涵養量是單位體積的拋光墊存儲拋光液的質量；

　　4.粗糙度-表面粗糙度是拋光墊表面的凸凹不平程度,；

　　5.密度-密度是拋光墊材料的致密程度；

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點擊次數：更新時間：2019-03-09 09:38:48 【打印此頁】【關閉】

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